電子廠凈化車(chē)間
國(guó)內(nèi)外的潔凈技術(shù)的發(fā)展都是隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,工業(yè)產(chǎn)品的日新月異,潔凈技術(shù)的要求也不斷的提高,在對(duì)高潔凈技術(shù)的需求下,危害物質(zhì)的產(chǎn)生以及排放無(wú)疑是很危險(xiǎn)的。對(duì)于電子廠凈化室而言,從某種角度上講,潔凈技術(shù)是一種手段,污染控制才是目的。 電子廠凈化車(chē)間等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外電子廠凈化車(chē)間對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。 其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō),電子廠凈化車(chē)間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子廠凈化車(chē)間的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。